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            新聞詳情

            "光滑"是指多光滑?

            日期:2022-11-11 05:52
            瀏覽次數:642
            摘要: "光滑"是指多光滑? 那 “超光滑” 呢? 玻璃窗 光滑 嗎? 汽車發動機的承壓密封面 光滑 嗎? 手機攝像頭的鏡頭透鏡 光滑 嗎? 光學,機械,電子精密制造商,都在關注那些 高精度、高性能,尺寸可能卻很小的關鍵組件,這些組件對終端產品的性能至關重要,常常關乎一家公司在市場上的生存。 對于這些關鍵組件的關鍵面,"光滑"是指多光滑?這個問題弄清楚,很重要。 -光滑,超光滑表面的計量 有各種工具和方法,...

            "光滑"是指多光滑?

            那 “超光滑” 呢?

            玻璃窗 光滑 嗎? 

            汽車發動機的承壓密封面 光滑 嗎? 

            手機攝像頭的鏡頭透鏡 光滑 嗎?

             

            光學,機械,電子精密制造商,都在關注那些 高精度、高性能,尺寸可能卻很小的關鍵組件,這些組件對終端產品的性能至關重要,常常關乎一家公司在市場上的生存。

             

            對于這些關鍵組件的關鍵面,"光滑"是指多光滑?這個問題弄清楚,很重要。

            -光滑,超光滑表面的計量

             

            有各種工具和方法,用于計量“光滑”表面;從觸針輪廓儀到原子力顯微鏡,以及非接觸式光學計量設備。

             

            ·             觸針式輪廓儀,通過在樣品上沿路徑運行的觸頭,來提供粗糙度結果,它只提供沿路徑的2D輪廓結果,而且會損壞它所測量的表面;

             

            ·             原子力顯微鏡(AFM),使用一個非常小的懸臂探針,使其靠近樣品,檢測**和樣品之間的作用力。原子力顯微鏡(AFM)可以提供納米級的分辨率,但測量過程耗時、探針消耗成本高、測量表面的區域范圍有限;

            ·     非接觸光學計量方式,以光為媒介,基于光學技術來感知表面,可以避免接觸被測表面。

             

            -超光滑表面計量

             

            超光滑表面計量需要 相干掃描干涉技術CSI(Coherent Scan Interferometry)。

             

            并非所有的非接觸光學檢測設備,都能達到測量超光滑表面,所需的 埃級別 重復性和精度,認識到這一點很重要。

             

            例如,共聚焦顯微鏡是基于Z軸掃描時,光強信號的變化,直接判斷位置信息的。這種共聚焦技術的縱向分辨率,和物鏡數值孔徑NA值關聯,能測試的*光滑表面的RMS值,在幾納米級別。同時共聚焦顯微鏡,更適用于粗糙和高度傾斜的表面,對平滑無特征的表面,就不那么有效。

             

            另一種光學檢測技術,相干掃描干涉(CSI Coherent Scan Interferometry),利用光學干涉的原理,分析白光干涉掃描的條紋光強以及相位信息。正是深入到干涉相位的分析,才使CSI技術能測試的*光滑表面的RMS值,達到 優于埃,小于0.1納米級別。同時這一分辨率和物鏡NA值無關,能夠測量用于粗糙和異常光滑表面。

             

            與共焦和其它非接觸技術相比,CSI具有以下幾個優勢:

             

            ·     基于CSI技術的光學輪廓儀,在使用各種物鏡,所有放大倍數下,都具有納米級或亞納米級精度。

             

            ·     基于CSI技術的光學輪廓儀,能快速高速掃描,在所有放大倍數下,在幾秒鐘內得到數百萬像素的高度信息。

             

            ·     CSI可用于超光滑(亞納米粗糙度)或光學透明的表面,也可測量具有透明光學薄膜的表面。

            當需要確認“光滑”足夠“光滑”時,ZYGO基于相干掃描干涉技術的3D光學輪廓儀包括,NewView 9000, Nexview NX2 和 ZeGage Pro, 都是您*佳的選擇。

             

            ZYGO光學輪廓儀,提供的符合ISO 25178,  ISO 4287/4288及其他標準的各類表面計量結果。

             

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            上海浦量元精密機電有限公司

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